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中文标题 作者 论文ID 分类简称 发布时间
测量过孔微机械测试结构和紧凑模型的阻尼系数比较 T. Veijola, Giorgio De Pasquale, Aurelio Som`a 0805.0893 cs.OH 2008-12-18
RF-MEMS光束元件:在残余应力存在下的FEM建模和拉合特性实验鉴定 Alberto Ballestra, Eugenio Brusa, Giorgio De Pasquale, Mircea Gh. Munteanu, Aurelio Som`a 0805.0895 cs.OH 2008-12-18
微悬臂致动器的紧凑模型在射频微电子机械系统应用中的验证 Eugenio Brusa, Antonio Della-Gaspera, Mircea Gh. Munteanu 0805.0896 cs.OH 2008-12-18
从热传递分析的角度对铜基底上的激光辅助纳米压印进行数值研究 Chun-Ping Jen 0805.0897 cs.OH 2008-12-18
微电铸金属双极电极用于迷你DMFC堆叠 R.F. Shyu, H. Yang, J.-H. Lee 0805.0898 cs.OH 2008-12-18
关于受应力单层和双层亚微米厚薄膜泊松比的确定 P. Martins (INL), C. Malhaire (INL), S. Brida, D. Barbier (INL) 0805.0899 cs.OH 2008-12-18
新的高填充因子三角微透镜阵列制备方法:使用紫外近距离印刷 T.-H. Lin, H. Yang, C.-K. Chao 0805.0900 cs.OH 2008-12-18
电热驱动聚合物微夹具的设计优化 R. Voicu, R. Muller, L. Eftime 0805.0901 cs.OH 2008-12-18
高数值孔径和低像差的双凸微透镜阵列的设计与制造 Jhy-Cherng Tsai, Ming-Fong Chen, Hsiharng Yang 0805.0903 cs.OH 2008-12-18
基于流体对流的微加工测斜仪 N. Crespy (IES), J. Courteaud (IES), P. Combette (IES), P. Temple Boyer (LAAS), A. Giani (IES), A. Foucaran (IES) 0805.0904 cs.OH 2008-12-18
基于模型的传感器系统用于R744空调系统中的温度测量 Sven Reitz, Andreas Schroth, Peter Schneider 0805.0905 cs.OH 2008-12-18
集成的三维声强传感器与四线粒子速度传感器 Doekle Yntema, Joost Van Honschoten, Remco Wiegerink 0805.0906 cs.OH 2008-12-18
微喷墨和无电解镀铜的集成实现高纵横比图案形成 P.W. Gian, Xuechuan Shan, Y.N. Liang, B.K. Lok, C. W. Lu, B. L. Ooi 0805.0907 cs.OH 2008-12-18
一种用于原子力显微镜的纳米结构微波探针 Y. Ju, M. Hamada, T. Kobayashi, H. Soyama 0805.0908 cs.OH 2008-12-18
高密度的垂直平面微探针阵列 Huang C.H. Huang C.H., Chingfu Tsou, Tenghsien Lai 0805.0911 cs.OH 2008-12-18
计量尺寸压力机微缝中涂层粘弹性液体的仿真 Haifa El-Sadi, N. Esmail 0805.0912 cs.OH 2008-12-18
基于微悬臂梁的气体流量和流向检测传感器 Y.-H. Wang, Tzu-Han Hsueh, Rong-Hua Ma, Chia-Yen Lee, Lung-Ming Fu, P.-Ch. Chou, Chien-Hsiung Tsai 0805.0913 cs.OH 2008-12-18
纳米尺度下薄金属膜的机械性能测量:一种新型划船悬臂测试结构 Chi-Jia Tong, Ming-Tzer Lin 0805.0914 cs.OH 2008-12-18
高品质因数的CMOS-MEMS电感器 Ching-Liang Dai, Jin-Yu Hong, Mao-Chen Liu 0805.0915 cs.OH 2008-12-18
三维集成的铜电沉积 Rozalia Beica, Charles Sharbono, Tom Ritzdorf 0805.0916 cs.OH 2008-12-18
三维异质集成技术 J"urgen Wolf, P. Ramm, Armin Klumpp, H. Reichl 0805.0917 cs.OH 2008-12-18
通过硅通孔作为3D系统的推动者 E. Jung, Andreas Ostmann, Peter Ramm, J"urgen Wolf, Michael Toepper, Maik Wiemer 0805.0918 cs.OH 2008-12-18
三维封装TSV的DRIE制造 M. Puech, Jean-Marc Thevenoud, J.M. Gruffat, N. Launay, N. Arnal, P. Godinat 0805.0919 cs.OH 2008-12-18
对流加速度计的一阶热敏Σ-Δ架构研究 Pascal Nouet (LIRMM), Fr''ed''erick Mailly (LIRMM), Laurent Latorre (LIRMM), Pascal Nouet (LIRMM) 0805.0920 cs.OH 2008-12-18
高密度三维硅通孔(TSV) Magnus Rimskog, Tomas Bauer 0805.0922 cs.OH 2008-12-18