微悬臂致动器的紧凑模型在射频微电子机械系统应用中的验证
摘要：计划利用微悬臂梁样本进行平面和垂直平面弯曲试验。对2D和3D数值模型进行实验验证。然后讨论平面和垂直平面布局的主要特点。研究了由于大尖端位移和微梁的初始曲率而引起的几何非线性对平面模型预测粘连效应的有效性。本文旨在讨论2D模型作为紧凑型工具用于替代某些模型降阶技术的能力，这些技术在同时存在电-力耦合和几何非线性时似乎不适用。
作者：Eugenio Brusa, Antonio Della-Gaspera, Mircea Gh. Munteanu
论文ID：0805.0896
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18