电热驱动聚合物微夹具的设计优化
摘要：热微执行器是实现大位移、轻柔处理力、低功耗MEMS执行器的一种有前途的解决方案。这些装置的潜在应用领域包括微继电器、组装和微型医疗仪器。本文描述了基于SU-8聚合物的热微执行器的开发。本文介绍了一种新型微夹具的开发，它可以实现夹持臂的运动，并具有对夹持对象进行定位和操纵的功能。介绍了两种聚合物微夹具电热机械激发模型，设计了用于SU-8聚合物制造的低激发电压。使用有限元模拟对电热微夹具进行了设计和优化。对每个模型进行了基于有限元方法的电-热-机械模拟，以比较结果。进行了初步的实验测试。
作者：R. Voicu, R. Muller, L. Eftime
论文ID：0805.0901
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18