基于流体对流的微加工测斜仪
摘要：一个填充了气体和液体的一维热倾斜仪的数值模拟和实验结果。传感器原理包括一个放置在两个探测器之间的加热电阻器。当电阻器通电时，在微加工硅腔内形成一个对称的温度分布。通过对传感器施加倾斜，分布在水平方向上与感知轴相对应的位置发生位移。使用数值解流体力学方程和计算流体动力学（CFD）软件包Fluent V6.2，研究了CO2气体和矿物油SAE50的温度分布和灵敏度。结果表明，液体传感器的灵敏度高于气体传感器的灵敏度。通过使用微加工硅技术，制作了一个在加热器距探测器300 um的热倾斜仪。实验测量结果与数值模拟一致。
作者：N. Crespy (IES), J. Courteaud (IES), P. Combette (IES), P. Temple Boyer (LAAS), A. Giani (IES), A. Foucaran (IES)
论文ID：0805.0904
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18