基于微悬臂梁的气体流量和流向检测传感器
摘要：应用余应力特性制造微结构气流传感器的目的是使悬臂梁弯曲起来。本研究使用硅片沉积硅氮化物层，在相互垂直的四个悬臂梁上重新组装气流传感器，并分别利用微电子机械系统技术在每个微悬臂梁上制造压阻结构。当悬臂梁在蚀刻硅片后形成时，由于在之前的制造过程中引起了释放的余应力，悬臂梁会微微弯曲。当空气流过传感器时，上游和下游梁会发生变形，从而可以通过比较不同悬臂梁之间的电阻变化来确定气流方向。通过计算四个悬臂梁上的总电阻变化，还可以测量气流速率。
作者：Y.-H. Wang, Tzu-Han Hsueh, Rong-Hua Ma, Chia-Yen Lee, Lung-Ming Fu, P.-Ch. Chou, Chien-Hsiung Tsai
论文ID：0805.0913
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18