摘要：对称的四线传感器配置使得一种全集成声强传感器的噪音水平显著降低，并且比之前的传感器尺寸更小。在芯片两侧使用了折叠式的“背腔”，进一步实现了集成声压传感器的微型化。
作者：Doekle Yntema, Joost Van Honschoten, Remco Wiegerink
论文ID：0805.0906
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18
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