RF-MEMS光束元件：在残余应力存在下的FEM建模和拉合特性实验鉴定
摘要：用于预测微梁在平面内弯曲测试中耦合行为的数值方法进行了实验验证。本研究完成了以前有关平面内微梁弯曲的调查。通常情况下，微悬臂和夹持-夹持微梁会受到残余应变和应力的影响，这些影响会影响拉合电压的数值。在微悬臂的情况下，精确的建模需要考虑由于微加工而造成的初始曲率效应。在双夹持微梁中，考虑施加的拉应力预加载。机械耦合引起的几何非线性行为被检测和建模。实验结果表明，FEM方法提出的结果与实验结果具有良好的一致性。可以进行相当快速和准确的拉合条件预测，因此数值模型可以通过从测得的拉合电压值进行反向分析来确定微桥中的残余应力。
作者：Alberto Ballestra, Eugenio Brusa, Giorgio De Pasquale, Mircea Gh. Munteanu, Aurelio Som`a
论文ID：0805.0895
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18