高品质因数的CMOS-MEMS电感器

摘要:CMOS工艺和后处理制造的高Q因子螺旋电感器的研究

作者:Ching-Liang Dai, Jin-Yu Hong, Mao-Chen Liu

论文ID:0805.0915

分类:Other Computer Science

分类简称:cs.OH

提交时间:2008-12-18

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