一种用于原子力显微镜的纳米结构微波探针
摘要：开发一种新的结构微波探针，研究了在GaAs晶片上制备原子力显微镜探针。通过在GaAs原子力显微镜探针的顶部和底部表面蒸发金膜引入了波导。形成了一个高度为8微米，曲率半径约为50纳米的尖端。悬臂的尺寸为250x30x15微米。通过使用FIB制造的方法，在探针尖端引入了波导的开放结构。使用制造的GaAs微波探针测量了光栅样品的原子力显微镜拓扑。研究发现制造的探针具有纳米尺度的分辨率，并成功地在探针尖端接近Cr-V钢和Au线样品时检测到微波发射。
作者：Y. Ju, M. Hamada, T. Kobayashi, H. Soyama
论文ID：0805.0908
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18