测量过孔微机械测试结构和紧凑模型的阻尼系数比较
摘要：比较了通过已发表的紧凑模型计算得出的阻尼系数与六种不同的多孔微机械测试结构的实测阻尼系数。多孔板的运动几乎是平移的，表面形状为矩形，孔洞均匀，验证了紧凑模型的假设。在这些结构中，孔洞比例从24\%到59\%不等。研究结果表明，压缩性和惯性在使用的频率（130kHz到220kHz）下不会对阻尼贡献。所有四个紧凑模型给出的阻尼系数低估了实测阻尼系数约20\%。通过研究模型中的各种流动分量，讨论了这种低估的原因。
作者：T. Veijola, Giorgio De Pasquale, Aurelio Som`a
论文ID：0805.0893
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18