从热传递分析的角度对铜基底上的激光辅助纳米压印进行数值研究
摘要：激光辅助纳米压印光刻（LAN）技术的提出利用准分子激光通过石英模具照射并熔化基底上的薄聚合物膜，用于微到纳尺度的制造。本研究提出了一种创新的概念，即采用铜而不是传统上使用的硅作为基底。铜基底上的微/纳结构可以通过化学/电化学蚀刻或电铸造来制造，随后使用LAN过程将图案转移到基底上。基底材料的替代方法可以在微/纳制造中实现多种应用。为了数值上证明这一概念的可行性，本研究引入了光学多次反射理论，在过程中进行了分析和数值模拟，以理论上预测热响应。
作者：Chun-Ping Jen
论文ID：0805.0897
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18