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中文标题 作者 论文ID 分类简称 发布时间
表面处理对通过深反应离子刻蚀制造的真空微电子器件的影响 A. Phommahaxay (ESYCOM-Esiee), G. Lissorgues (ESYCOM-Esiee), L. Rousseau (ESYCOM-Esiee), T. Bourouina (ESYCOM-Esiee), P. Nicole 0711.3276 cs.OH 2007-11-29
3D自组装SOI MEMS:多物理仿真示例 C. Mendez, C. Louis, S. Paquay, P. De Vincenzo, I. Klapka, V. Rochus, F. Iker, Nicolas Andr''e, J.-P. Raskin 0711.3277 cs.OH 2007-11-29
脉冲数字振荡器响应中反馈滤波器的影响 M. Dominguez, Joan Pons, J. Ricart, J. Juillard (EA2523), E. Colinet (EA2523) 0711.3279 cs.OH 2007-11-29
利用紫外线近距离印刷在光阻中制作凹型微透镜阵列模具 Tsung-Hung Lin, Hsiharng Yang, Ching-Kong Chao 0711.3284 cs.OH 2007-11-29
退火诱导的基于硅的射频溅射生长的氧化锌薄膜的非凡性能 Jing Li, L. Dedeng, Suntao Wu 0711.3286 cs.OH 2007-11-29
微机电系统的参数化产量分析:统计方法 S.-P. Vudathu, K.-K. Duganapalli, Rainer Laur, D. Kubalinska, A. Bunse-Gerstner 0711.3287 cs.OH 2007-11-29
静电驱动的具有改进温度稳定性的 SOI 谐振器 A. Giridhar (ESYCOM-Esiee, Ief), F. Verjus (ESYCOM-Esiee), F. Marty (IEF), A. Bosseboeuf (IEF), T. Bourouina (IEF) 0711.3288 cs.OH 2007-11-29
三轴硅力传感器的电机械可靠性测试 S. Spinner, J. Bartholomeyczik, B. Becker, M. Doelle, O. Paul, I. Polian, R. Roth, K. Seitz, P. Ruther 0711.3289 cs.OH 2007-11-29
一个融合热驱动、关联聚二甲基硅氧烷和硅微技术的主动混沌微混合器 O. Franc{c}ais, M.-C. Jullien (SATIE), L. Rousseau (ESYCOM-Esiee), P. Poulichet (ESYCOM-Esiee), S. Desportes (PPSM), A. Chouai (PPSM), J.-P. Lefevre (PPSM), J. Delaire (PPSM) 0711.3290 cs.OH 2007-11-29
基于离散继电器反馈技术的谐振MEMS传感器的分辨率限制 J. Juillard, E. Colinet (LETI), M. Dominguez, Joan Pons, J. Ricart 0711.3291 cs.OH 2007-11-29
硅基微型燃气涡轮发电机 X.-C. Shan, Z.-F. Wang, R. Maeda, Y.F. Sun, M. Wu, J.S. Hua 0711.3292 cs.OH 2007-11-29
新型热电发电装置的能量转换 Guillaume Savelli (LEG), Marc Plissonnier, Jacqueline Bablet, C. Salvi, J.M. Fournier 0711.3294 cs.OH 2007-11-29
射频MEMS的微功率IC上发电器 S. Oukassi, R. Salot, S. Bancel, J.-P. Pereira-Ramos 0711.3296 cs.OH 2007-11-29
射频MEMS开关功能在氧化铝基底上的封装 M.-K. El Khatib (XLIM), A. Pothier (XLIM), P. Blondy (XLIM) 0711.3297 cs.OH 2007-11-29
基于MEMS的微型燃料电池的最新发展 T. Pichonat (FEMTO-ST - Lopmd), B. Gauthier-Manuel (FEMTO-ST - Lopmd) 0711.3298 cs.OH 2007-11-29
微悬臂几何形状和间隙对拉入电压的影响 W. Faris, H. Mohammed, M.M. Abdalla, C.-H. Ling 0711.3299 cs.OH 2007-11-29
薄膜材料微拉伸测试用新型电镀弹簧框架MEMS结构试样的设计与开发 Ming-Tzer Lin, Chi-Jia Tong, Chung-Hsun Chiang 0711.3300 cs.OH 2007-11-29
微电子机械系统中的腐蚀质量表征:热瞬态方法 P. Szabo, B. Nemeth, M. Rencz, B. Courtois (TIMA) 0711.3301 cs.OH 2007-11-29
添加剂对电镀镍的物理性能和光电成型镍组件的拉伸性能的影响 D. Allen, N. Duclos, I. Garbutt, M. Saumer, Ch. Dhum, M. Schmitt, J. E. Hoffmann 0711.3302 cs.OH 2007-11-29
FPD封装用各向异性导电膜的新型接触电阻模型 Gou-Jen Wang, Yi-Chin Lin, Gwo-Sen Lin 0711.3304 cs.OH 2007-11-29
使用表面声波和投影掩模测量多晶硅锗薄膜的弹性和机械性能的技术 A. Bennis, C. Leinenbach, C. Raudzis, R. M"uller-Fiedler, S. Kronm"uller 0711.3305 cs.OH 2007-11-29
基板表面处理对Moems封装中In-48SN焊点的机械可靠性的影响 Ja-Myeong Koo, Seung-Boo Jung 0711.3306 cs.OH 2007-11-29
增加压电和电磁微能量发电器收集能量的非线性技术 Yasser Ammar (TIMA), S. Basrour (TIMA) 0711.3308 cs.OH 2007-11-29
基于随机振动的压电发电机优化 E. Lefeuvre (LGEF), A. Badel (LGEF), C. Richard (LGEF), L. Petit (LGEF), D. Guyomar (LGEF) 0711.3309 cs.OH 2007-11-29
MEMS惯性能量收集器的功率处理电路 P.-D. Mitcheson, T.-C. Green, E.-M. Yeatman 0711.3311 cs.OH 2007-11-29