新型热电发电装置的能量转换
摘要：发展微电子学有助于开发复杂和多样化的技术。许多这些技术可以成功应用于实现Seebeck微发电机：光刻和沉积方法可以在微尺度水平上制备薄热电结构。我们的目标是通过开发迷你电源来回收能量，以供电子元器件使用。在硅玻璃基底上制造了面积为1cm2的首个Bi和Sb微设备，包括一百多个结合点。优化了制程的每个步骤：光刻、沉积工艺、退火条件和金属连接。利用不同的微线尺寸实现了不同的器件结构。将回顾和讨论每个器件的性能与设计结构的关系。
作者：Guillaume Savelli (LEG), Marc Plissonnier, Jacqueline Bablet, C. Salvi, J.M. Fournier
论文ID：0711.3294
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29