使用表面声波和投影掩模测量多晶硅锗薄膜的弹性和机械性能的技术
摘要：通过使用瑞利表面声波（SAW），测量了沉积在硅和SiO2上的多晶硅锗（SiGe）薄膜的杨氏模量、密度和厚度。使用基于格林函数的边界元方法（BEM-Model）计算了传播SAW的色散曲线。采用纳秒激光器在窄带方案下，将掩模中的条纹投射到样品表面上来产生传播的SAW。为此，使用了玻璃掩模和液晶显示（LCD）掩模。然后使用探针束设置来测量SAW的斜率。通过掩模的波长和测得SAW的频率，逐点确定了色散曲线。将BEM-Model拟合到测得的非线性色散曲线中，同时获得了几个物理参数。在本研究中，通过测量SiGe薄膜的杨氏模量、密度和厚度，证明了窄带方案测量结果与厚度（轮廓仪）、密度（秤）和杨氏模量（纳米压痕仪）的独立测量结果完全一致。
作者：A. Bennis, C. Leinenbach, C. Raudzis, R. M"uller-Fiedler, S. Kronm"uller
论文ID：0711.3305
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29