利用紫外线近距离印刷在光阻中制作凹型微透镜阵列模具
摘要：高填充因子聚二甲基硅氧烷（PDMS）微透镜阵列 利用紫外光近距离印刷和光阻复制方法，本文提出了一种简单有效的方法来制造高填充因子的聚二甲基硅氧烷（PDMS）微透镜阵列。通过利用光刻过程中的印刷间隙，利用紫外光的光学衍射使其偏离孔径边缘，并在孔径边缘外的光阻材料上产生一定的曝光量，制作出凹面微透镜阵列模具。该方法可精确控制凹面微透镜阵列的几何轮廓。实验结果表明，当印刷间距范围从240微米到720微米时，光阻中的凹面微透镜阵列可以自动形成。当凹面微透镜阵列相邻孔径的控制间距减小到孔径尺寸时，可以制备出高填充因子的微透镜阵列。
作者：Tsung-Hung Lin, Hsiharng Yang, Ching-Kong Chao
论文ID：0711.3284
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29