微机电系统的参数化产量分析：统计方法
摘要：微系统制造过程中不可避免的工艺变化对微系统设备性能和设计产能的影响进行了分析和研究。本文简要介绍了一种新的MEMS和其他微系统设计周期的方法论。该方法论旨在抵消微系统产品周期中的参数变化，采用了在父IC技术中已被证明成功的最坏情况分析的概念。文章讨论了微系统模型的抽象级别和模型可用性等问题。
作者：S.-P. Vudathu, K.-K. Duganapalli, Rainer Laur, D. Kubalinska, A. Bunse-Gerstner
论文ID：0711.3287
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29