摘要：改进温度稳定性的单晶硅（SCS）MEMS谐振器研究
作者：A. Giridhar (ESYCOM-Esiee, Ief), F. Verjus (ESYCOM-Esiee), F. Marty (IEF), A. Bosseboeuf (IEF), T. Bourouina (IEF)
论文ID：0711.3288
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29
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