退火诱导的基于硅的射频溅射生长的氧化锌薄膜的非凡性能
摘要：采用溶胶凝胶法制备的模板层，通过脉冲激光沉积（PLD）在Pt/Ti/SiO2/Si基底上原位沉积了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 (PZT)薄膜。首先使用溶胶凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上沉积了具有(111)或(100)优先取向的厚度为0.1μm的PZT层，然后在上述PZT层上以PLD原位沉积了厚度为1μm的PZT层。通过X射线衍射分析研究了PZT薄膜的晶相和优先取向。使用扫描电子显微镜和透射电子显微镜观察了表面和横断面形态。通过测量P-E滞回线和介电常数评估了薄膜的电学性能。采用溶胶凝胶法制备的模板层可控制薄膜的优选取向。在该过程中，获得钙钛矿相所需的沉积温度约为460摄氏度，远低于直接在Pt / Ti / SiO2 / Si基底上通过PLD沉积的情况。关键词：铅锆钛酸铅(PZT)、薄膜、溶胶凝胶法、激光烧蚀、电学性能
作者：Jing Li, L. Dedeng, Suntao Wu
论文ID：0711.3286
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29