微悬臂几何形状和间隙对拉入电压的影响
摘要：用有限差分法研究了微悬臂梁在静电驱动下的行为。这个问题在基于MEMS的加速度计、开关等装置中有很多应用。本文中，我们对带有质量的悬臂梁问题进行了有限差分求解，并研究了长度、宽度和间隙尺寸对拉动电压的影响，使用了文献中可获得的数据。此外，稳定限界与之前文献中常用的单自由度近似计算拉动电压进行了比较。
作者：W. Faris, H. Mohammed, M.M. Abdalla, C.-H. Ling
论文ID：0711.3299
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29