微电子机械系统中的腐蚀质量表征:热瞬态方法

摘要:非破坏性热瞬态测量方法-以揭示微米级MEMS结构的差异为例

作者:P. Szabo, B. Nemeth, M. Rencz, B. Courtois (TIMA)

论文ID:0711.3301

分类:Other Computer Science

分类简称:cs.OH

提交时间:2007-11-29

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