薄膜材料微拉伸测试用新型电镀弹簧框架MEMS结构试样的设计与开发
摘要：基于微电子机械系统（MEMS）技术的研究越来越多，涉及到微尺度系统和器件的设计、制造和商业化。精确的机械特性对于成功设计和开发MEMS非常重要。我们在这里展示了一种新颖的电镀弹簧框架MEMS结构样品，该样品集成了针对针孔、误差补偿弹簧结构框架、负载传感器梁和自立薄膜。该样品可以嵌入一个特殊设计的微拉伸仪器中，能够对亚微米尺度的自立薄膜进行一系列测试。
作者：Ming-Tzer Lin, Chi-Jia Tong, Chung-Hsun Chiang
论文ID：0711.3300
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29