射频MEMS的微功率IC上发电器
摘要：用作RF-MEMS供电的高压能源源的电化学（化学电能转换）微型发电机的发展和集成的最新进展是本文的主题。自主MEMS需要类似微型化的电源。到目前为止，固态薄膜电池是通过机械掩蔽来实现的。这种方法不允许活性区域小于几平方毫米，并且整个过程要在受控大气环境下进行，以确保材料的化学稳定性（主要是锂化材料）。在这种背景下，使用微电子微加工工艺（光刻，反应离子刻蚀...）来实现微型化（目标单元电池活性区域为100x100μm²）和上IC技术兼容性。这里所开发的所有工艺步骤都是在洁净室环境中实施的。
作者：S. Oukassi, R. Salot, S. Bancel, J.-P. Pereira-Ramos
论文ID：0711.3296
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29