摘要：集成光刻薄膜研究-芯片内片上THz阵列光栅的演示
作者：Ali Dehghanian, Walid Gomaa, Mohsen Haghighat, Thomas Darcie, and Levi Smith
论文ID：2308.08677
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2023-08-21
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