具有高品质因子（Q值为237）和5.1％的k2的薄膜锂铌酸盐声学谐振器在50.74 GHz下
摘要：一种50.74 GHz的锂铌酸盐（LiNbO3）声学谐振器的高品质因子（Q）为237，电机-机械耦合（k2）为5.17％，结果得到一个性能参数（FoM，Q x k2）为12.2。该LiNbO3谐振器采用了一种新颖的双层周期极化压电薄膜（P3F），由128个Y割LiNbO3在非晶硅（a-Si）和蓝宝石堆叠上实现低损耗和高耦合。该器件在16.99 GHz的音调上显示了Q值为159，k2为65.06％，FoM为103.4。这个结果显示了P3F LiNbO3在毫米波前端滤波器方面的有希望的前景。
作者：Jack Kramer, Vakhtang Chulukhadze, Kenny Huynh, Omar Barrera, Michael Liao, Sinwoo Cho, Lezli Matto, Mark S. Goorsky, Ruochen Lu
论文ID：2307.05742
分类：Signal Processing
分类简称：eess.SP
提交时间：2023-07-13