用于高灵敏度、与流体兼容的密封集成电子器件的混合聚合物/陶瓷/半导体制备平台
摘要：将聚合物微机电系统与应变传感器的离奇敏感性成功地结合起来
作者：Nahid Hosseini, Matthias Neuenschwander, Jonathan D. Adams, Santiago H. Andany, Oliver Peric, Marcel Winhold, Maria Carmen Giordano, Vinayak Shantaram Bhat, Dirk Grundler, and Georg E. Fantner
论文ID：2307.05221
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2023-07-12