23.5 GHz下的2.38 dB IL和18.2% FBW的薄膜锂铌酸盐声学滤波器
摘要：具有超越现有技术的低插入损耗（2.38 dB）和3 dB分频带宽（18.2%）的23.5 GHz声学滤波器。该器件利用了在100 nm 128° Y切锂铌酸铯（LiNbO3）压电薄膜中电性耦合的声学谐振器，以第一阶反对称（A1）模式运行。采用新的膜层结构，即在硅（Si）衬底上具有中间非晶硅（a-Si）层的转移薄膜LiNbO3，有助于在毫米波（mmWave）下实现创纪录的性能。该滤波器具有0.56 mm²的紧凑占地面积。本文报告了声学和电磁考虑因素，以及通过X射线衍射进行的材料表征，并通过切面电子显微镜进行了验证。进一步发展后，所报告的滤波器平台可以实现各种毫米波前端信号处理功能。
作者：Omar Barrera, Sinwoo Cho, Lezli Matto, Jack Kramer, Kenny Huynh, Vakhtang Chulukhadze, Yen-Wei Chang, Mark S. Goorsky, Ruochen Lu
论文ID：2307.04559
分类：Signal Processing
分类简称：eess.SP
提交时间：2023-07-11