铌酸盐上的含铝电极铌酸盐谐振器
摘要：在这项工作中，我们成功地设计和检测了悬浮的横向振动谐振器（LVRs），这些谐振器位于锂铌酸锂薄膜上的锂铌酸锂载体晶片（LN-on-LN）平台上，并由铝互输比特拉换能器（IDTs）供电。与锂铌酸锂-硅系统不同，LN-on-LN平台提供了一个应力中性的锂铌酸锂薄膜，具有与体块单晶相同的质量。通过先进的蒸气-HF释放技术，我们成功创建了这些由铝-IDTs驱动的LN-on-LN谐振器。我们的测试显示，LVR谐振器显示出对称（S0）和剪切水平（SH0）的横向振动。谐振器的品质因子（Q）在500至2600之间，耦合系数($k_{eff}^2$)高达13.9\%。优势因子($k_{eff}^2 \times Q$)可以高达294。这些器件的产量可靠性令人印象深刻。值得注意的是，我们的LN-on-LN器件表现出一致稳定的温度频率系数（TCF）和良好的功率处理能力。鉴于锂铌酸锂的热导率较低，我们的LN-on-LN技术在未来的应用中具有很大的潜力，例如使用单片集成谐振器阵列的高灵敏度非制冷传感器。
作者：Yiyang Feng, Sen Dai and Sunil A. Bhave
论文ID：2307.03358
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2023-07-10