外延ScAlN的域控制和周期极化
摘要：ScAlN薄膜是一种新兴的铁电材料，具有大的带隙、强的压电性能，并且在增强chi^(2)非线性方面具有巨大潜力。在这项研究中，我们使用氮化镓作为缓冲层，在c轴蓝宝石衬底上外延生长的Al极性ScAlN薄膜中演示了高保真度的铁电领域切换和周期极化。实现了从2 um到0.4 um的周期范围内均匀的ScAlN极化。通过光刻控制外延ScAlN的极化能力对于进一步开发其在铁电存储和非线性光学应用中的应用具有关键意义。
作者：Fengyan Yang, Fengyan Yang, Ding Wang, Ping Wang, Juanjuan Lu, Zetian Mi, Hong X.Tang Tang
论文ID：2307.00708
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2023-08-16