摘要：高度选择性Si3N4/SiO2刻蚀过程中关键试剂的确定及研究
作者：Yuri Barsukov
论文ID：2306.04789
分类：Chemical Physics
分类简称：physics.chem-ph
提交时间：2023-06-09
PDF 下载： 英文版 中文版pdf翻译中