超高真空压电马达非金属涂层磨损引起的冷焊现象的系统研究
摘要：超高真空条件下应用的压电马达广泛用于需要精确定位和微型化的各种应用中。惯性马达或准静态马达通常被使用，因为它们具有高精度，要求移动滑块与静态部分之间具有一致的滑动摩擦以确保可靠运行。一般来说，长期使用后滑块磨损是不可避免的。特别是在真空中，磨损往往会导致更严重的冷焊接，也就是由相似金属表面之间的直接接触引起的摩擦焊接。非金属涂层可以防止在超高真空（UHV）应用中发生这种不良的冷焊接。然而，目前可用涂层在超高真空条件下的实际可靠性仍需要阐明。在这里，我们系统地研究了超高真空条件下常用的UHV兼容润滑涂层在压电马达中的实际可靠性。我们证明聚四氟乙烯（PTFE）在真空中展示了最可靠的长期运行能力，而其他涂层最终会导致磨损引起的冷焊接和马达失效。我们的发现为通过在滑块表面涂层聚四氟乙烯（PTFE）来改善超高真空压电马达的长期性能提供了一种简单有效的方法。
作者：Taemin Ahn, Sungmin Song, Ungdon Ham, and Tae-Hwan Kim
论文ID：2306.04401
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2023-06-08