石英板声波谐振器和传感器的理论分析:利用各向异性弹性或压电的三维方程

摘要:石英晶体板的波动和振动的三维各向异性弹性或线性压电理论结果综述。包括声波谐振器的经典结果和声波传感器的相对新的应用。讨论了由于电极、质量负载、与流体和气隙接触等各种复杂性导致的基本厚度模式,以及更复杂的横向变化模式。这些结果对于理解和设计优化广泛使用的石英晶体板谐振器和传感器至关重要。

作者:Jiashi Yang

论文ID:2306.00604

分类:Applied Physics

分类简称:physics.app-ph

提交时间:2023-06-02

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