摘要:压电石英谐振器频率位移与传感器应用中的表面质量层有关。我们使用石英板厚度剪切模的标量微分方程。进行了一阶摄动分析。通过摄动积分获得了频率位移。在均匀质量层的特殊情况下,会得到著名的Sauerbrey方程质量灵敏度。利用摄动积分计算了非均匀质量层引起的频率位移。
作者:Jiashi Yang
论文ID:2305.09894
分类:Applied Physics
分类简称:physics.app-ph
提交时间:2023-05-18
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