基于银的望远镜镜面的原子层沉积氧化铝保护涂层：纯臭氧和H2O前体的比较
摘要：银基望远镜镜片在可见红外光谱范围内优于其他材料（如金和铝），但它们需要坚固的保护涂层以克服其固有的低耐久性。我们的研究表明，通过热原子层沉积（ALD）使用三甲基铝（TMA）和水（H2O）在低温（约60°C）下沉积一层氧化铝（AlOx）可以作为一种可接受的保护涂层，而不会对镜片的光学性能产生不利影响。尽管使用AlOx单层保护的银基镜片在实际使用中表现良好，但在加速底层失效机制的高湿高温环境测试中，它们迅速退化，表明有改进空间。本文描述了一项研究，对比了两组使用热ALD制备的单层AlOx保护的银基镜片的性能和耐久性，使用两种氧源前体：水（H2O）和纯氧（PO）。研究结果显示，尽管不考虑氧源前体，两种样品最初的光谱反射率相当，但是使用PO制备的AlOx保护涂层的样品在环境测试中的反射率保持近乎不变的时间是使用H2O制备的AlOx保护涂层的1.6倍，显示了PO制备的AlOx保护涂层的有希望的特性。
作者：S{o}ren A. Torn{o}e, Brandon Cheney, Brian Dupraw, Yoshimasa Okamura, Andrew C. Phillips, Takayuki Hagiwara, Tetsuya Nishiguchi, Nobuhiko P. Kobayashi
论文ID：2305.05109
分类：Instrumentation and Methods for Astrophysics
分类简称：astro-ph.IM
提交时间：2023-05-10