可扩展矢量图引导下的多焦激光直写通过空间光调制
摘要：多焦激光直写（LDW）基于相位空间光调制器（SLM）的技术可以实现柔性和并行的高通量纳米制造。在本研究中，我们开发和初步测试了一种结合两光子吸收、SLM和可扩展矢量图（SVG）指导的新方法，用于快速、灵活和并行的纳米制造。三个激光焦点可以独立控制，根据SVG路径进行优化制造，提高时间效率。最小结构宽度可以低至74纳米。配合平移台，制造了一个大约为18.16微米×24.35微米的鳖鱼结构。这种方法显示了将LDW技术发展成全电气系统的可能性，并提供了一种高效地在纳米尺度上刻蚀复杂结构的潜在途径。
作者：Linhan Duan, Yueqiang Zhu, Haoxin Bai, Chen Zhang, Kaige Wang, Jintao Bai, Wei Zhao
论文ID：2304.10479
分类：Instrumentation and Detectors
分类简称：physics.ins-det
提交时间：2023-04-21