MgO传输倍增极的构建与表征

摘要:超薄(5和15 nm)的MgO透射动物清洁剂(蒂诺德)具有足够高的透射电子产量(TEY)可以被构造出来。这些蒂诺德在一种新型真空电子倍增器中起着电子放大的作用:计时光子计数器(TiPC)。直径为30μm的超薄膜被排列成一个64×64的方阵。使用初能量为0.75-5 keV的初级电子,通过扫描电子显微镜(SEM)确定了TEY。该方法允许我们在同时成像表面的同时制作TEY图。可以从TEY图中提取单个膜的TEY。使用1.35 keV初级电子在层厚为2和5 nm的TiN / MgO双层膜上实现了平均最大TEY为4.6 +/- 0.2。层厚分别为2和15 nm的TiN / MgO膜在2.35 keV下具有最大TEY为3.3 +/- 0.1。此外,通过将蒂诺德的发射表面与平面收集器紧密接近,研究了电场强度对透射(次级)电子发射的影响。通过将蒂诺德和收集器之间的电势从-50 V增加到-100 V,1.35 keV初级能量下的平均最大TEY从4.6+/- 0.2提高到5.0 +/- 0.3,其中一种膜的上限为5.5。

作者:H.W. Chan, V. Prodanovi''c, A.M.M.G. Theulings, S. Tao, J. Smedley, C.W. Hagen, P.M. Sarro and H. v.d. Graaf

论文ID:2304.09615

分类:Instrumentation and Detectors

分类简称:physics.ins-det

提交时间:2023-07-05

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