基于钻石量子磁力计实现的高动态范围开环电流测量，达到百万分之一精度
摘要：基于金刚石中带有负电荷的氮-空位缺陷（NV）中心的研究已被广泛地用作在室温下高灵敏度的固态磁场传感器。然而，由于金刚石NV传感器的集成和微型化存在挑战，它们在电流传感应用中的使用仍受限。本文展示了一种通过标准微纳制造工艺制作的集成式NV传感器。该传感器器件与一个环形磁铁环相结合，可实现高精度宽范围的直流电流检测，并具有电隔离功能。我们研究了开环配置下金刚石NV电流传感器的性能。实现了0 A ~ 1000 A的电流测量范围，不确定度为46 ppm。利用双旋弛共振调制，温度漂移抑制到10 ppm/K。这种配置为电流量子传感技术提供了一个稳健且可扩展的平台。
作者：Qihui Liu, Hao Chen, Fei Xie, Yuqiang Hu, Jin Zhang, Nan Wang, Lihao Wang, Yichen Liu, Yang Wang, Zhichao Chen, Lingyun Li, Jiangong Cheng and Zhenyu Wu
论文ID：2304.07998
分类：Instrumentation and Detectors
分类简称：physics.ins-det
提交时间：2023-04-18