可扩展的多重图案布局分解通过分布进化算法实现

摘要:下一代技术节点中多模式布局分解的一种可行替代技术:基于概率模型的分布进化算法

作者:Yu Chen and Yongjian Xu and Ning Xu

论文ID:2304.04207

分类:Neural and Evolutionary Computing

分类简称:cs.NE

提交时间:2023-04-11

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