以表面声波转换为手段实现具有纳米机械柱共振器的实用质谱技术
摘要：表面声波传感器用于表面声波传感技术下纳米机电系统中的柱体共振器对，迄今为止只在单个纳米机械柱体共振器传感的实践上证明了有效性。在这里，我们证明了纳米机械柱体共振器对通过表面声波的传感。直径为700nm的纳米机械柱体共振器对的质量灵敏度为-588$ \pm$98 ng$^{-1}$。纳米机械柱体共振器对之间的间距为70nm和14.3$ \mu$m。通过表面声波传感让我们能够测量每个对中的两根柱体，且电线距离至少300$ \mu$m，显示了表面声波在传感密集的柱体共振器阵列上的潜力，这是实现纳米机电系统中实用质谱技术的重要一步。
作者：Hendrik K"ahler, Robert Winkler, Holger Arthaber, Harald Plank, and Silvan Schmid
论文ID：2303.06665
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2023-03-14