10 kPa范围的新电路压力传感器芯片
摘要：具有高灵敏度的10千帕MEMS压力传感器芯片的特性研究及其新颖的电路。该电路采用基于两个双极晶体管（BJT）的压电敏感差动放大器与负反馈回路（PDA-NFL）。BJT具有垂直结构的n-p-n型（V-NPN），形成在非可变形的芯片区域上。电路在最大机械应力区域的轮廓膜上包含八个压阻器。实验结果证明，4.0x4.0 mm2芯片面积的压力传感器芯片PDA-NFL的灵敏度S为7.8...12.4 mV/V/kPa，非线性为2KNL = 0.14...0.38 \%/FS(压力施加在压力传感器芯片背面)。
作者：Mikhail Basov
论文ID：2302.07101
分类：Instrumentation and Detectors
分类简称：physics.ins-det
提交时间：2023-02-15