蒸发沉积下的液滴纳米流体输运：低维纳米材料种子生长的综述
摘要：金属纳米颗粒上的蒸汽相沉积技术可以促进现代半导体工业的发展。与在裸基底上进行沉积相比，蒸汽相沉积技术在金属纳米颗粒上（通常在液相中）开辟了制备低维纳米材料的新途径，从而推动了新型器件结构的发展以及其在先进电子、光电子和光子学等领域的应用。在过去的二十年中，通过不同的自下而上方法（如汽液固相、汽固固相、平面固液固相等）和不同的沉积技术（CVD、PECVD、MOCVD、MBE等），已经合成了具有各种结构（点、线、树、管、片、带等）的纳米材料。与液相外延中金属液体作为固定储液库来容纳气相前体物相反，金属液滴必须从衬底上出离平面方向或垂直方向，以引导低维纳米材料的生长。在本综述中，我们将从动态液滴演变角度来观察生长过程，探讨几个影响液滴展开行为及其相关纳米流体传输的关键因素，包括沉积参数、固液界面、晶体相、衬底纳米表面等等，这些因素决定了纳米材料的各种形态和生长方向。反过来，液滴传输对掺杂剖面和相变等方面也有很大影响，这将在本文中进行讨论。
作者：Zheng Fan and Lei Ma
论文ID：2302.05953
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2023-02-14