通过对衍射强度进行定量分析从4D-STEM旋进电子衍射数据中实现高精度定向映射
摘要：使用扫描透射电子显微镜（STEM）和在每个探针位置检测衍射图案（所谓的4D-STEM）的结合，是分析具有纳米级分辨率和低辐射水平的材料结构性能的最有前途的方法之一。这种方法广泛用于利用自动化晶体定位映射（ACOM）进行材料的纹理分析。在本文中，我们利用轴向CMOS相机获取的衍射图案进行InP纳米线的定位映射。通过量化分析衍射强度的实验和模拟的残差，来确定每个探针位置的晶体定向，类似于结构优化。我们的模拟基于双束动态衍射近似，并提供了高角度精度（约0.03度），远远低于基于模式匹配算法的传统ACOM方法（约1度）。我们预计，同时探索斑点位置和高精度晶体错配将允许探索基于PED的4D-STEM在纳米材料变形领域的全部潜力。
作者：Leonardo Corr^ea, Eduardo Ortega, Arturo Ponce, M^onica Cotta and Daniel Ugarte
论文ID：2301.10286
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2023-01-26