薄膜压电微机械系统(PMUTs):40年研究综述

摘要:薄膜压电微超声换能器的简明综述

作者:Kaustav Roy, Joshua En-Yuan Lee, Chengkuo Lee

论文ID:2301.05814

分类:Instrumentation and Detectors

分类简称:physics.ins-det

提交时间:2023-01-18

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