纳米尺度成像的台面X射线层析仪：1,000元素过渡边缘传感器子阵列的演示
摘要：TOMCAT实施的1000元件热过渡传感器(TES) X射线光谱仪报告。TOMCAT结合了高空间分辨率扫描电子显微镜(SEM)和高效的像素化TES光谱仪，用于重建纳米尺度集成电路(ICs)的三维地图。最近，240个像素的原型光谱仪被用来重建130纳米技术节点的ICs，但为了将成像速度提高到更实际的水平，需要提高探测器效率。因此，我们正在构建一个光谱仪，最终将包含3000个TES微量热计，采用微波超导量子干涉器件(SQUID)复用进行读出，目前我们已经启动了一个1000个TES子阵列。这仍然比240个像素的系统有了显著改善，使我们能够开始对整个光谱仪性能进行表征。在992个最大可用读出通道中，我们得到了818个设备，这是迄今为止同时读出的最大数量的TES X射线微量热计。这些微量热计已被优化为脉冲速度而非纯能量分辨率，并且我们测得在8.0 keV Cu Kα线处的FWHM能量分辨率为14 eV。
作者：Paul Szypryt, Nathan Nakamura, Daniel T. Becker, Douglas A. Bennett, Amber L. Dagel, W. Bertrand Doriese, Joseph W. Fowler, Johnathon D. Gard, J. Zachariah Harris, Gene C. Hilton, Jozsef Imrek, Edward S. Jimenez, Kurt W. Larson, Zachary H. Levine, John A. B. Mates, D. McArthur, Luis Miaja-Avila, Kelsey M. Morgan, Galen C. O'Neil, Nathan J. Ortiz, Christine G. Pappas, Daniel R. Schmidt, Kyle R. Thompson, Joel N. Ullom, Leila Vale, Michael R. Vissers, Christopher Walker, Joel C. Weber, Abigail L. Wessels, Jason W. Wheeler, Daniel S. Swetz
论文ID：2212.12073
分类：Instrumentation and Detectors
分类简称：physics.ins-det
提交时间：2023-04-27