Comphy v3.0 -- 一种用于建模MOS器件中电荷捕获及相关可靠性现象的紧凑物理框架
摘要：电荷捕捉在电子设备的可靠性中起着重要作用，它表现为偏压温度不稳定性 (BTI)，随机电报噪声 (RTN)，滞后性或陷阱辅助隧穿 (TAT)等各种现象。在这项工作中，我们介绍了Comphy v3.0，这是一个开源的物理模型框架，可以统一地使用非辐射多声子理论在一维器件几何结构上建模这些效应。在这里，我们概述了基础理论，讨论了与原始Comphy框架相比新增的特点，并回顾了利用这些新特点实现的可靠性物理的最新进展。通过包括缺陷分布的自动提取，在高介电常数电容器中对TAT的建模以及低温下对BTI/RTN的建模在内的几个实际示例突出了Comphy v3.0对可靠性社区的实用性。
作者：Dominic Waldhoer, Christian Schleich, Jakob Michl, Alexander Grill, Dieter Claes, Alexander Karl, Theresia Knobloch, Gerhard Rzepa, Jacopo Franco, Ben Kaczer, Michael Waltl, Tibor Grasser
论文ID：2212.11547
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2023-05-17