原子层沉积在悬浮的二维材料上制备的纳米力学谐振器
摘要：原子层沉积(ALD)是一种逐层合成超薄材料的控制方法，相对于其他技术具有精确的厚度控制、大面积可扩展性和卓越的符合性等优点。在这里，我们展示了在悬挂的二维材料上使用ALD生长制备纳米机械谐振器的可能性。我们制备了由石墨烯/MoS2异质结构构成的ALD纳米机械谐振器。通过AFM压痕和光热驱动，我们测量了它们的力学性质，包括杨氏模量、共振频率和品质因子，显示出与其剥离和化学气相沉积对应的相似值。我们还展示了通过剥离ALD生长的NbS2层制备纳米机械谐振器的方法。这项研究展示了ALD技术制备高质量悬浮纳米机械膜的潜力，为未来多层纳米器件和纳电子机械系统的大规模制造提供了有希望的途径。
作者：Hanqing Liu, Saravana B. Basuvalingam, Saurabh Lodha, Ageeth A. Bol, Herre S. J. van der Zant, Peter G. Steeneken, and G. J. Verbiest
论文ID：2212.08449
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2022-12-19