硅氮化物纳米机械谐振器中受热涨落噪声限制的频率稳定性演示

摘要:纳米机械谐振器频率稳定性的研究及其在传感器中的应用

作者:Chang Zhang, Raphael St-Gelais

论文ID:2211.12651

分类:Applied Physics

分类简称:physics.app-ph

提交时间:2023-05-24

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