具有BEOL兼容性的铁电场效应晶体管的操作和设计实施
摘要：基于数值模拟和对最近实验数据的比较分析，我们提出了一个关于FeFET操作和设计的研究。我们的结果表明，在铁电-电介质叠层中正确考虑电荷捕获是不可或缺的，以使模拟结果与实验一致，并实现所需的电流-电压特性的磁滞行为。然后我们分析了几种多晶硅通道FeFET的设计选项，特别研究了通道厚度和掺杂浓度对存储窗口以及极化依赖的高低电阻态比之间的影响。
作者：Daniel Lizzit, David Esseni
论文ID：2209.05133
分类：Emerging Technologies
分类简称：cs.ET
提交时间：2022-09-13