揭秘周期结构的测量
摘要：周期结构经常出现在纳米科学和纳米技术的各个领域中，其中许多结构被用于计量目的，无论是用于校准仪器还是构成编码器等测量设备的基础。通过对拓扑测量结果进行评估，例如使用扫描探针显微镜（SPM）方法进行的测量，可以使用不同的方法来确定一维或二维周期结构的周期，过去已提出许多光栅评估方法，并应用于一些示例中。确定光栅间距的最佳方法并不明显。本文报告了对直接空间和傅里叶空间数据处理方法的大规模模拟和分析结果。在不同的测量条件下，对各种不同的光栅进行了数千次模拟，包括在现实生活中遇到的缺陷模拟。文章最后总结了这些方法的优点和缺点，并提出了对周期结构测量和开发处理算法的实际建议。
作者：David Nev{c}as, Andrew Yacoot and Petr Klapetek
论文ID：2208.12151
分类：Data Analysis, Statistics and Probability
分类简称：physics.data-an
提交时间：2023-02-13