硅孔径光学
摘要：硅孔光学（SPO）使用商业上可获得的晶圆双面超抛光硅晶片作为基础，制造出形成轻巧高分辨率X射线光学的镜子。这项技术由cosine测量系统和欧洲航天局（ESA）发明，并与科学和工业伙伴共同开发到批量生产水平。它利用半导体行业数十年来开发的处理、加工和清洁硅晶片和板的技术和过程。SPO是大型航天X射线望远镜（如Athena和ARCUS）的一种启用技术，它的工作波段为0.2到12 keV，角分辨率目标为5角秒。SPO还显示出可以进一步开发用于γ射线光学、医疗应用和材料研究的多功能技术。
作者：Nicolas M. Barri`ere, Marcos Bavdaz, Maximilien J. Collon, Ivo Ferreira, David Girou, Boris Landgraf, and Giuseppe Vacanti
论文ID：2206.11291
分类：Instrumentation and Methods for Astrophysics
分类简称：astro-ph.IM
提交时间：2023-04-05