使用PMN-PT实现切向和酒杯模式的自对准单电极驱动
摘要：单电极[011]取向PMN-PT薄膜盘的纵向压电激励被显示可以激发切向模和椭圆复合谐振模的系列模式，利用一个涵盖整个盘面的自对准和非图案化电极。通过制备一个一端口盘式换能器，进行了1-30 MHz范围内的反射射频测量，证明了复合模式系列的形状。使用Polytec的激光多普勒测振仪进行了平面位移测量，独立验证了模式的传递。在空气中，切向模在335 kHz共振频率下实现40°/秒的抖动速率，n=2杯子模式在8.42 MHz共振频率下在半径为60 µm的盘式谐振器上实现了11.46 nm的尖端位移。一个能够用这样的性能激发切向和杯子模式的单电极谐振器为带有内置一级校准阶段的BAW MEMS陀螺仪奠定了基础。
作者：Ozan Erturk, Kilian Shambaugh, Ha-Seong Park, Sang-Goo Lee, Sunil A. Bhave
论文ID：2205.06668
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2023-05-08